序号

晶圆参数

规格选择

1

晶圆直径（　6”　 8”　 12”　 14” 　16”）

2

单个芯片的电极尺寸与间距（用户根据电极的尺寸对探针进行选择，如针尖直径，）

3

电极数量（一个标准探针座只能操作一个电极，用户根据芯片的电极数量选配合适数量的探针座）

4

测试电压（高电压测试一般会加一个屏蔽箱，防干扰。）

5

测试电流（一般的探针测试电流在1到3安之间，如电流更大需要定制）

6

测试频率（ＤＣ到65Ｇ，高频测试对探针，针架与测试线都有严格要求。）

7

晶圆背面是否接电或接地（真空吸盘是否要求通电）

8

测试温度，

真空吸盘加热：室温至300度可选；

低温：压缩机制冷　，室温至零下40度

液氮制冷　室温至零下196度

液氦制冷　最底至4Ｋ

9

气体环境与要求，可选真空，特殊气体．