4200-SCS 参数分析仪_产品中心_泓睿科技

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4200-SCS 参数分析仪

详细介绍：

适用于材料和设备电气检定的全面解决方案

4200-SCS 是一个模块化、完全集成的参数分析仪，用于执行材料、半导体器件和流程的电气检定。从基本的 I-V 和 C-V 测量扫描到先进的超快脉冲式 I-V、波形捕获和瞬态 I-V 测量，4200-SCS 为研究人员或工程师提供设计、开发或生产所需的关键参数。

什么是吉时利4200-SCS参数分析仪？

4200-SCS是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用9个测量槽和内置低噪声接地单元，您可以根据测试要求或预算限制进行精密配置。

I-V曲线 C-V扫描脉冲I-V 栅氧化层可靠性非易失性存储器纳米技术

直流I-V测量是器件和材料测试的基础。4200-SCS源测量单元（SMU）是高精度源电流或电压以及同步测量电流和电压的精密仪器。4200-SCS提供的宽范围I-V测量包括：亚ρA漏电测量、μΩ电阻测量。

高分辨率 IV

210V/100mA，0.1 fA 分辨率

适用于两端器件和三端器件、MOSFET、CMOS 检定

软件包 4200-SCS-PK1 包括：

4200-SCS 型参数分析仪
KTEI 测试软件
(2) 个 4200-SMU 型模块
(1) 个 4200-PA 型预放大器
带有采样装置的测试夹具
电缆

索取 4200-SCS-PK1 的报价 | 查阅产品技术资料

高分辨率 IV 和 CV

210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz

对于高 K 电介质，为深度亚微米 CMOS 检定

软件包 4200-SCS-PK2 包括：

4200-SCS 型参数分析仪
KTEI 测试软件
(2) 个 4200-SMU 型模块
(1) 个 4200-PA 型预放大器
(1) 个 4210-CVU 型模块
带有采样装置的测试夹具
电缆

索取 4200-SCS-PK2 的报价 | 查阅产品技术资料

高分辨率和高功率 IV 和 CV

210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz

对于功率器件、高 K 电介质，为深度亚微米 CMOS 器件检定

软件包 4200-SCS-PK3 包括：

4200-SCS 型参数分析仪
KTEI 测试软件
(2) 个 4200-SMU 型模块
(2) 个 4210-SMU 型
(1) 个 4200-PA 型预放大器
(1) 个 4210-CVU 型模块
带有采样装置的测试夹具
电缆

模块	描述	占用插槽	主要特点
4200-SMU	中功率 SMU	1	±210 V，±100 mA，四象限操作最低测量分辨率 0.1 μV，100 fA 选配的预放大器将测量分辨率扩大至 0.1 fA 超低频率 C-V 和准静态 C-V 测量
4210-SMU	高功率 SMU	1	±210 V，±100 mA，四象限操作最低测量分辨率 0.1 μV，100 fA 选配的预放大器将测量分辨率扩大至 0.1 fA 超低频率 C-V 和准静态 C-V 测量
4210-PA	远程预放大器	-	选配的预放大器将中功率和高功率 SMU 的测量分辨率扩大至 0.1 fA
4210-CVU	多频电容-电压设备	1	交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 1 kHz - 10 MHz 频率范围 ±30 V（60 V 差分）内置直流偏置以及使用 SMU/CVU 电源套件时的 210 V（420 差分）直流偏置内置置信度检查功能，确人 DUT 连接的完整性将交流安培计和直流偏置移到备用 DUT 端子时无需重新布线
4225-PMU	超快 I-V 设备	1	超快脉冲 I-V，同时提供电压和电流测量每个仪器模块均具有两条独立或同步通道 ±40 V 最大，电流范围为 100 μA 至 800 mA 选配的 4225-RPM 将电流范围扩大至 100 nA 不进行电压和电流测量时，最低脉冲宽度为 20 ns 进行电压和电流测量时，最低脉冲宽度为 60 ns 瞬态捕获（示波器模式）多电平分段任意波形功能，高达 2048 段
4225-RPM	远程放大器开关	-	远程放大器/开关模块将 4225-PMU 的电流范围扩大至 100 nA 无需重新布线即可自动在 I-V、C-V 和脉冲式 I-V 测量之间切换
4220-PGU	脉冲发生器设备	1	双通道电压脉冲发生器多电平分段任意波形发生器，高达 2048 段 ±40 V 最大，电流范围为 100 μA 至 800 mA 10 ns 分段定时分辨率

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